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日本ORC,光源用设备,半导体制造设备,VUM-3500,
orcUV产量创新设备,ORC,VUM-3500。
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日本京都玉崎株式会社/深圳市京都玉崎电子有限公司
联系人:朱林
手机:15007558285
电话:0755-28607111-(分机)808
传真:0755-28578000
免费热线:4008520009
邮箱:zl@ktts.net
网站:www.ktts.cn
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日本ORC,光源用设备,半导体制造设备;
素子に紫外線を照射して、電荷を放出させることが出来ます。半導体、特にフラッシュメモリの製造工程において良好な素子特性を得て、歩留まりの向上と信頼性の向上には、欠かすことの出来ない装置です。
特 徴:
1. フラッシュメモリ、マイコンのVth特性の回復とリテンション特性の改善に有効です。
2. EP-ROM等不揮発性メモリでは、データの消去にも有効です。
3. 半導体デバイスのトランジスタ特性の改善と安定化にも有効です。
4. 対象ウエーハはΦ5in~Φ300mmまでカバーする、SEMI規格に準拠した構造です。
5. 100℃~150℃の低温プロセスです。
型号:VUS-3300,VUM-3500,VUM-3434,VUM-3460。
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