适用于：2-6寸晶圆刻蚀清洗 产品规格 控制模式：半自动控制（工件搬运为手动操作，工艺参数控制过程为自动） 总体规格： 1400mm(L)×1000mm(W)×2000mm(H) 工件：2-6寸晶圆 产能：25片/槽 可按客户产能需求设计 电源：380V，50HZ,2KW 纯水：CL-PVC 进口DN25 管径，0.2～0.3 MPa 压力，用量MAX:2m3/h 抽风口：φ200*1 抽风量MAX: 700m3/h ,风量口装有蝶阀，可手动调节 CDA: 0.4～0.6 MPa 压力，接管口径 ∮8mm,用量MAX:0.5m3/h N2: 0.4～0.6 MPa 压力，接管口径 ∮8mm,用量MAX:2m3/h 设备特点： 1. LED清洗设备骨架为SUS304外包3mmPP，外壳采用德国进口PP-W板焊接； 2. LED清洗设备采用 “PROFACE”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制； 3. LED清洗设备槽体设置温度、液位监控装置； 4. LED清洗设备的药液槽配透明槽盖，有效防止药液挥发，污染； 5.LED清洗设备清洗区域配有高效过滤器，无二次污染机会； 6.LED清洗设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE 管进行保护，防腐防水； 7.LED清洗设备底部安装3mm 厚PP 防漏托盘，有效防止设备漏液损害厂务地板； 8.用户操作人员上料后，全过程自动化控制，减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点； 9.LED清洗设备安全性能高，设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计，确保人身和厂务安全；

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苏州晶洲装备科技有限公司是一家集研发、设计、制造和销售为一体的专业LED、LCD、太阳能和半导体设备供应商。地处江苏省常熟市辛庄光伏产业园内，占地总面积11323平米，一期投资1000万元人民币。公司引进德国先进技术，拥有国内外业内顶尖的技术研发和管理团队。目前，公司已经通过ISO9001质量体系认证，凭借先进的设计理念，精湛的制造工艺，可靠的产品质量和完善的售后服务，晶洲产品赢得了国内外众多客户的好评。 目前，公司专注于各类半导体、LED、OLED、五金清洗设备研发与制造。主要产品有：硅片腐蚀清洗剂、有机化学清洗台、硅片超声波清洗机、掩模盒清洗机、各类通风橱、有机腐蚀清洗机、OLED刻蚀脱膜清洗机、湿式刻蚀设备、FPD湿法刻蚀清洗机、五金槽式清洗机、五金链式清洗机等。 公司会始终秉承“客户导向、纪律严明、质量至上、鼓励创新、理想职场”的价值理念，竭诚为各界新老客户提供最完善的产品和服务。